光刻机概念板块逆势活跃，海立股份再度涨停|界面新闻 · 证券

界面新闻记者 | 江怡曼

3月10日上午
，A股光刻机概念股逆势活跃
。截至上午收盘，海立股份再度涨停 ，茂莱光学
、波长光电、炬光科技分别上涨9.1% 、4.52%和4.14%。同时
，上证指数和深证成指均出现下跌 。

值得注意的是，这是海立股份再度涨停 ，该公司股票曾在3月3日
、3月4日实现“两连板”
。

今年以来
，光刻机概念指数接连上涨，同花顺光刻机指数上涨13.98%。

据了解 ，光刻机是半导体制造过程中的核心设备
，用于将电路图案通过光学显影技术转移到硅片上，从而实现微小结构的制造 。它相当于芯片制造的“打印机 ” ，直接决定了芯片的工艺水平和性能
。

2024年9月
，工信部发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，其中提到国产氟化氩光刻机的技术突破。这一进展标志着我国在中低端芯片制造领域实现了部分自主可控 ，提升了行业信心 。同时，国家政策对半导体产业的支持
，包括资金、税收优惠等，进一步推动了光刻机行业的发展
。

近年来，我国在光刻机领域取得了显著进展 ，打破了部分技术封锁
，实现了全流程国产化。国产光刻机的突破不仅减少了对外部供应链的依赖，还为国内半导体产业链的完善提供了基础 。

中信证券发布研报称 ，国内对于光刻机产业链的投资和支持力度持续加大
，国产高端光刻机的发展有望获得推动，半导体设备产业链将有望同步受益
。未来若DUV及EUV设备逐步实现国产化突破 ，国内先进制程产线有能力逐步实现国产替代
，有望迎来新一轮的半导体扩产周期。

该券商还表示，建议关注受到光刻机“卡脖子
”问题影响的半导体制造 、设备
、零部件自主化替代的相关公司 ，尤其是光刻工艺相关的设备和零部件厂商 。此外，受益于国产光刻机突破
，未来国内先进制程扩产有望加速。

兴业证券发布研报称，光刻机作为芯片制造光刻环节的核心设备 ，目前全球前道光刻机被ASML、尼康 、佳能垄断
，实现光刻机的国产替代势在必行，具有重大战略意义
。建议持续关注光刻机产业链相关零部件上市公司。